Образец для калибровки монокристалла кремния, 1-19301

Образец для калибровки монокристалла кремния используется для коррекции увеличения SEM и LM при искажении изображения. 

При размере 5 мм × 5 мм кристалл типа 675 мкм был легирован 100 кристаллами на поверхность монокристаллического кремния с помощью технологии воздействия электронным лучом и травления, чтобы сформировать квадратный сетчатый рисунок размером 10 мкм. Глубина сетки составляет 300 нм, а ширина линий между сетками — 1,9 мкм. Для облегчения обнаружения LM имеется немного более широкая разделительная линия через каждые 500 мкм.